腔体尺寸：

300×Φ150㎜

300×Φ150㎜

腔体容积：

5.2L

5.2L

石英转瓶尺寸：

60×60×120㎜

60×60×120㎜

转瓶转速：

1-15rpm/s可调

1-15rpm/s可调

射频频率：

40KHz

13.56MHz

射频功率：

10-200W无级可调

10-150W无级可调

电源：

220V 50/60Hz

220V 50/60Hz

电流：

1.2A

1.2A

时间设定：

1-99分59秒

1-99分59秒

气体稳定时间：

1分钟

1分钟

真空度：

100pa以内

100pa以内

激发方式：

电容式

电容式