德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 组成：
l 四级质谱分析仪
l 手动或自动控制进样阀门
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前级泵 MVP 020-3
l 标准真空腔体
l 全量程真空计 PKR 251
l 阀门控制单元 VCU 220
l 分子泵显示器
l 软体：Quadera + HPA Add-In
l 连接法兰 DN 40 CF-F
l 电源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz

可选的附加组件：
1.腔体加热装置 2.分子泵控制单元 DCU 002 3.定制软体 4.其他全量程真空规
 

德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 应用行业：
在一个压力范围内（1 x 10-7到50 hPa）进行过程分析、监控
1.真空镀膜行业 2.半导体行业 3.光刻行业 4.冶金行业 5.真空炉 6.实验研究

质谱分析仪 技术参数：

质谱分析仪 尺寸图：



质谱分析仪 订购选型：