技术指标
N2 抽取速度 | |
NW40 | 47 ls-1 |
ISO63/CF63 | 84 ls-1 |
压缩比(N2) | >1x1011 |
前级泵抽速(50Hz) | |
E2M1.5 | 1.6 m3h-1 |
XDD1 | 1.2 m3h-1 |
极限压力 | <5 x 10-10mbar |
入口法兰 | NW40、ISO63 、 CF63 |
出气口法兰 | |
E2M1.5(TS85H Wet) | φ11mm 接嘴或 3/8 “ BSP |
XDD1(TS85H Dry) | 装配消音器或 1/8 “ BSP |
重量 | |
E2M1.5(TS85H Wet) | 21 kg/48 lb |
XDD1(TS85H Dry) | 17 kg/40 lb |
噪声 | 56 dB(A) |
漏率 | <1 x 10-6mbar l/s |
工作温度 | 12℃-40℃ |
*T-Station 85H Wet CF63
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