Edwards EXT75DX涡轮分子泵

出口法兰

KF16

抽

速

ISO63/63CF

DN40NW

ISO100

N₂

61l/s

42l/s

66l/s

He

57l/s

49l/s

59l/s

H₂

53l/s

48l/s

54l/s

压

缩

比

N₂

>1×10¹¹

He

1×10⁶

H₂

5×10⁴

极限

真空

RV泵，ISO/CF

<5×10^-9/<5×10^-10 mbar

隔膜泵，ISO/CF

<5×10^-8/<5×10^-9 mbar

推荐前级泵^*

RV5/nXDS6i

放气口/吹扫口

1/8英寸BSP母螺纹

最大连续入口压力（轻质气体）^?

水冷（水温15°C，环境温度40°C）

2×10^-2 mbar

空冷（环境温度35°C）

1×10^-2 mbar

泵转速

标称转速

90000rpm

待机转速

49500~90000rpm可调

（缺省63000 rpm）

功率范围

50~120W可调

（缺省80W）

90%转速启动时间

110s^?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温度

冷却方式^#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35°C

最小水冷流速

（15°C的水）

15l/ h

水温范围

10~20°C

入口法兰最高温度

100°C

工作姿态

垂直、水平

噪声（1m处）

<50dB(A)

最大耐受磁场

5mT

推荐控制器

TIC100涡轮仪表控制器

稳态功耗

10W

B72241000

EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法兰

B72242000

EXT75DX分子泵：DN63CF入口法兰

B72243000

EXT75DX分子泵：DN40NW入口法兰

B72245000

EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰

B72246000

EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法兰（DN25NW前级泵接口）

B72235000

EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法兰

B72237000

EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰

B72238000

EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法兰（DN25NW前级泵接口）