技术参数：

●测量面积   [μm]             250 x 250 (或定制)

●垂直分辨率[nm]             >1

●横向分辨率[μm]             >1

●测量时间    [s]                3-50

●测量范围    [μm]            150

●图片尺寸    [Pixel]         1300 x 1100

●外观尺寸    [mm]           400 x 120 x 160

●重量            [kg]             5

●位移:

              X 轴 [mm]              30

              Y 轴 [mm]              10