【技术特点】-- TMC Stage-Base™主动振动与运动消除系统

特点：

1、包含独特的STACIS技术

2、采用可扩展的压电陶瓷致动器

3、负载的位置可重复性在微米范围内

4、可安装的框架设计

5、6自由度

6、可选的音圈电机前馈或反馈

7、主动隔振从0.6赫兹开始

8、快速的调节时间来响应平台运动

9、没有气浮支撑

10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器

11、简单、鲁棒性强，性价比高

Performance-

【技术特点对用户带来的好处】-- TMC Stage-Base™主动振动与运动消除系统

【典型应用举例】-- TMC Stage-Base™主动振动与运动消除系统