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Annealsys马弗炉/电阻炉/实验炉, 该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
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