远程控制等离子清洗机 型号:EM-KLEEN 用于电子显微镜等分析仪器如SEM、FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS、ASE 系统 | 源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartCleanTM 技术,设计精巧,智能,功能强大 EM-KLEEN 构成: Pirani压力传感器 :实时监测样品室压力,可以作为安全模式的安全联锁触发器,并未功能计数器加载事件 自动气体流量控制器 :很容易真空抽到10-7 Torr,自动调节气体流量 等离子强度传感器 :用户可实时监测等离子强度状态 温度传感器 : 提供联锁保护,防止长时间工作电源工作温度过高 冷却风扇 :大功率风冷冷却,而不会导致电源过热 液晶触摸屏控制器 :嵌入式微处理器,串联工作,自动控制系统,并为客户提供保护 |
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等离子体表面处理仪
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