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爱德华真空真空泵, EDWARDS的nEXT涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵。它们全部使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使用油润滑下轴承,实现可靠的高速操作。机载控制器与TIC和TAG控制器直接通讯,可提供低成本系统集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盒,以降低运行成本。
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