| 二次电子图象分辨率 | 1 nm @ 30 kV，1.8nm @ 1kV 0.8 nm @ 30 kV | 放大倍数 | 1x 到 1,000,000x |
| 背散射电子图像分辨率 | 00 | 加速电压 | 200 V 到 30 kV / 电子束减速模式下为50 V到 30 kV |
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