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泰思肯扫描电镜SEM, MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。 相比于常规物镜,它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜,它能显著地减小光学像差,在低电压下依然有着超高的分辨率。另外,添加的中磁透镜可以和物镜同时使用或者代替物镜观察,以提供多种显示模式。
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