MPDEX‐21/21-2电感耦合等离子体系统
tel: 400-6699-117 转 1000NextCVD等离子体表面处理仪, 电感耦合等离子体系统可以产生高密度(1012~1013 cm-3)的电感耦合等离子体,可以施加频率从0.5~13.56 MHz(低频到中频)的射频电源,外加功率变化范围是0~5000W。主要用于等离子体辅助化学气相沉积(CVD)、薄膜制备与处理、表面改性、刻蚀与晶片清洗等。
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产品型号: MPDEX‐21/21-2
品牌:NextCVD
产品产地:江苏
产品类型:国产
原制造商:NextCVD
状态:在售
厂商指导价格:未提供
上市时间: 2014-04-15
英文名称: MPDEX‐21/21-2
优点:电感耦合等离子体系统可以产生高密度(1012~1013 cm-3)的电感耦合等离子体,可以施加频率从0.5~13.56 MHz(低频到中频)的射频电源,外加功率变化范围是0~5000W。主要用于等离子体辅助化学气相沉积(CVD)、薄膜制备与处理、表面改性、刻蚀与晶片清洗等。
参考成交价格: 100~150万元[人民币]
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