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VICI空气发生器, Model 345气体发生器(气体校准器)包括两个质量流量控制器(MFC)系统–载气和稀释气系统。渗透管置于渗透腔内,一般载气以一个固定流量流经渗透腔。渗透腔的温度控制了校准气体从渗透管向外渗透的渗透率,保证了仪器的精度。
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