仪器简介：

• 二氧化氯检测仪

日本新宇宙半导体特气检漏仪XP-703D/XP-703D半导体特气检漏仪/气检漏仪XP-703D

XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪 / 

Pgm7340/pgm-7340PPB 泵吸式VOC检测仪
Pgm7240/pgm-7240 PPB 泵吸式VOC检测仪
Pgm7320/pgm-7320挥发性有机气体VOC检测仪
Pgm7600/pgm-7600挥发性有机气体VOC检测仪
Pgm7300/pgm-7300泵吸式VOC检测仪
Pgm7200/pgm-7200泵吸式苯蒸汽检测仪
Pgm3000/pgm-3000密闭空间复合气体检测仪
pgm7800/pgm-7800密闭空间复合气体检测仪
pgm7840/pgm-7840五合一气体检测仪
pgm50q/pgm-50q四合一密闭空建、
pgm50/pgm-50复合气体检测仪
pgm54/pgm-54五合一气体检测仪/二氧化碳检测仪
pgm2400/pgm-2400四合一气体检测仪
pgm2000/pgm-2000四合一密闭空间检测仪
pgm1600/pgm-1600可燃气体检测仪
pgm1700/pgm-1700氧气/一氧化碳/硫化氢检测仪
pgm1100/pgm-1100氧气检测仪（O2）
pgm1110/pgm-1110一氧化碳检测仪（CO）
pgm1120/8pgm-1120硫化氢检测仪（H2S）
pgm1190/pgm-1190氯气检测仪（CL2）
pgm1130/pgm-1130二氧化硫检测仪（SO2）
pgm1140/pgm-1140一氧化氮检测仪（NO）
pgm1150/pgm-1150二氧化氮检测仪（NO2）
pgm1170/pgm-1170氰化氢检测仪（HCN）
pgm1187/pgm-1187二氧化氯检测仪（CLO2）
pgm1189/pgm-1189氯气检测仪（CL2）
pgm1191/pgm-1191氨气检测仪（NH3）
pgm1192/pgm-1192磷化氢检测仪（PH3）
sp1102/sp-1102可燃气体检测器
sp1104/sp-1104有毒气体检测器
sp2102/sp-2102可燃气体检测仪
sp2104/sp-2104有毒气体检测仪
sp3104/sp-3104有毒气体检测仪
sp3101/sp-3101氧气检测仪
sp4101/sp-4101氧气检测器
sp4102/sp-4102可燃气体检测器
sp4104/sp-4104有毒气检测器
sp1003/sp-1003控制器
PPMHTV甲醛检测仪ppmhtv
4160甲醛检测仪4160-2 甲醛检测仪 4160-19.99m型甲醛分析仪 4160-1999m 甲醛分析仪 4160-199.9m甲醛分析仪 4160-1999b甲醛分析仪
XP308B/XP-308II/XP 308甲醛检测仪
HCX-300/HCX-4160甲醛检测仪 XP-311II可燃气体检测仪/XP-311A可燃气体检测仪

技术参数：

• 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪技术参数：

型 号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理
热线型半导体式

采样方式
自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度
10秒以内

主要特点：

• 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪产品特点：
1.最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
2.采用声光报警。