温度范围

RT to 1000 °C

样品尺寸

4-6英寸圆晶

气氛

各种气氛，气流，空气氛围，真空；

加热方式

上层抛物面红外加热系统或下层抛物面加热系统

最大升温速率

80℃/s

均热精度

Δt＝10℃ (晶圆在800℃氮气流下)

热电偶

JIS-K型热电偶, 高温计（可选）

外形尺寸

约 W600 x D1000   x H1700 (mm) 不包含突出部分

重量

约300kg

供电要求

三相电，AC 200V，30kVA

水冷要求

压力≥0.3Mpa ，流速≥15L/min

真空排气口

KF-25

通气口

进气口:1/4 英寸套管接头

热空气排气口

约φ50mm孔