技术特点
【技术特点】-- DPA 直接压电致动器
特点:
位移范围:40um-80um
闭环分辨率:0.4nm-0.8nm
响应时间:0.06ms-0.08ms
驱动电压更低
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【技术特点对用户带来的好处】-- DPA 直接压电致动器
【典型应用举例】-- DPA 直接压电致动器
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