【技术特点】-- Quantus HP100 高压气体光谱分析仪

特征概览:

• 等离子体频率900M Hz, 光波长范围：190-890 纳米

• 易更换等离子体组件，低的运行维护费

• KF40或KF50 标准连接口

• 良好的探测精度最低至ppb级

• 宽工作压力范围：1乇至1个大气压，无需泵组

• 快速采样频率24赫兹

• 小巧，易安装

 
 
应用：

• 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体检漏，气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测（Endpoint）。

【技术特点对用户带来的好处】-- Quantus HP100 高压气体光谱分析仪

【典型应用举例】-- Quantus HP100 高压气体光谱分析仪