技术特点
【技术特点】-- ADC100 直流放弧探测器
特征概览:
监测直流电源的电压及功率传输
高速采样频率,可达10万赫兹
应用:
用于探测半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧(Arcing)。
【技术特点对用户带来的好处】-- ADC100 直流放弧探测器
【典型应用举例】-- ADC100 直流放弧探测器
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