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日立扫描电镜SEM, "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。 通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。 此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍
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