【技术特点】-- CCS-UHV超高真空系统

CCS-UHV超高真空系统

       Janis有多种用于UHV系统的设计，包含非烘烤系统和烘烤系统。

非烘烤UHV系统

       闭循环制冷机系统可以配备CF法兰，UHV兼容的温度计和引线，匹配用户的样品腔。由于冷头直接连接恒温器样品室，冷头温度不能超过350K，所以整个闭循环制冷机系统不可烘烤。具体图纸请查看下图。

可烘烤UHV系统

       Janis 10K制冷机结合减振设计，系统通过氦气交换气体和橡胶波纹管隔离冷头与样品间的振动。冷头与样品之间无机械性连接，由交换气体提供热接触，而冷头单独支撑。该设计的冷头便于拆除烘烤，可应用于真正的超高真空系统。下图为基于10K冷头的UHV减振系统图纸。

CCS-XG-UHV-204

       Model CCS-XG-UHV-204 是一款专门为超高真空设计的恒温器，可以匹配用户的超高真空腔。该恒温器采用交换气体隔振技术，冷头便于拆卸，是一款真正的UHV系统，烘烤温度可达500K。该款恒温器允许烘烤时将冷头和波纹管拆卸，烘烤完闭，重新安装冷头和波纹管，通入交换气体降温，整个过程可以保持样品周围的UHV环境。请参考图纸下面的图纸CCS-100-XG-UHV-204。

标准配置：

l         Model CH-204二级冷头和水冷压缩机

l         交换气体减振设计，柔性波纹管连接冷头和恒温器

l         交换气体多支管带泵抽口和交换气体导入口

l         外部真空罩上安装有6-pin UHV电学接头，抽真空阀、减压阀

l         6”可旋转刀口法兰匹配UHV腔

l         UHV兼容的无氧铜样品座带有加热器和UHV兼容的温度计

【技术特点对用户带来的好处】-- CCS-UHV超高真空系统

【典型应用举例】-- CCS-UHV超高真空系统