扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围50μm*50μm（可选10μm*10μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（全量程扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围15μm（可选30μm）
定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）
共振频率：>9kHz
表面成像噪声：<0.03nm（标准值 0.02nm）
样品台
样品尺寸： 50mm*50mm*20mm
样品重量：zei大500g
样品台移动范围：20mm*20mm
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经销商
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