Linseis林赛斯TF-LFA薄膜激光导热测量仪

      材料的热物理性质以及zei终产品的传热优化在工业应用领域变得越来越重要。

　　经过几十年的发展，闪射法已经成为zei常用的用于各种固体、粉末和液体热导率、热扩散系数的测量方法。

      薄膜热物性在工业产品中正变得越来越重要，如：相变光盘介质、热电材料、发光二极管（LED ）  ，相变存储器、平板显示器以及各种半导体。在这些工业领域中，特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同，在许多应用中需要专门测定薄膜的参数。

　　基于已实现的激光闪射技术，LINSEIS TF-LFA 薄膜导热测试仪(Laserflash for thin films)可以测量80nm——20μm厚度薄膜的热物理性质。

1.瞬态热反射法（后加热前检测（RF））:

     由于薄膜材料的物理性质与基体材料显著不同，必需要有相应的技术来克服传统激光闪射法的不足，即瞬态热闪射法。

　   测量模型与传统激光闪射法相同：检测器和激光器在样品两侧。考虑到红外探测器测试薄膜太慢，因此检测是通过热反射方法完成的。该技术的原理是材料在加热时，表面反射率的变化可zei终用于推导出热性能。测量反射率随时间的变化，得到的数据代入包含的系数模型里面并快速计算出热性能。

2. 时域热反射法（前加热前检测（FF））:

     时域热反射技术是另一种测试薄层或薄膜热性能（热导率，热扩散率）的方法。测量方式的几何构造被称为“前加热前检测（FF）”，因为检测器和激光在样品上的同一侧。该方法可以应用于非透明基板上不适合使用RF技术的薄膜层。 

3. 瞬态热反射法（RF）和时域热反射法（FF）相结合:

两种方法可以集成在一个系统中并实现两者优点的结合。