分辨率:1.0 nm at 30 kV, 3.0 nm at 1 kV
二次电子: 1.0 nm at 30 kV, 3.0 nm at 1 kV
减速模式 2.3nm at 1kV, 3.1nm at 200V (可选项)
背散射电子: 2.5nm at 30kV
加速电压:200 V - 30 kV, 连续可调
探测器:E-T二次电子探测器,可选背散射探测器
50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台
.灯丝: 超高亮度Schottky场发射灯丝
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经销商
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