ES01 快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪

ES01是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度全自动光谱椭偏仪，系列仪器的波长范围覆盖紫外、可见到红外。

ES01系列光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k），也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

ES01系列光谱椭偏仪适合于对样品进行实时和非实时检测。

应用：

ES01系列尤其适合于科研和工业产品环境中的新品研发。

ES01系列多种光谱范围可满足不同应用场合。比如：

• ES01V适合于测量电介质材料、无定形半导体、聚合物等的实时和非实时检测。

• ES01U适合于很大范围的材料种类，包括对介质材料、聚合物、半导体、金属等的实时和非实时检测，光谱范围覆盖半导体的临界点，这对于测量和控制合成的半导体合金成分非常有用。并且适合于较大的膜厚范围（从次纳米量级到10微米左右）。
   

ES01系列可用于测量光面基底上的单层和多层纳米薄膜的厚度、折射率n及消光系数k。应用领域包括：微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁介质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。典型应用如：

• 半导体：如：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜，激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等）；

• 平板显示：TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等；

• 功能性涂料：增透型、自清洁型、电致变色型、镜面性光学涂层，以及高分子、油类、Al2O3表面镀层和处理等；

• 生物和化学工程：有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理、液体等。

ES01系列也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。应用领域包括：固体（金属、半导体、介质等），或液体（纯净物或混合物）。典型应用包括：

• 玻璃新品研发和质量控制等。

技术指标：

注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

可选配件：

•  NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片

•  NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片

•  VP01真空吸附泵

•  VP02真空吸附泵

•  样品池