【技术特点】-- ES03 快速摄谱式 多入射角光谱椭偏仪

特点：

• 原子层量级的检测灵敏度

  国际先进的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的设计和制造工艺实现并保证了能够测量原子层量级的纳米薄膜，膜厚精度达到0.05nm。

• 秒级的快速测量

  快速椭偏采样方法、高信噪比的信号探测、自动化的测量软件，在保证高精度和准确度的同时，10秒内快速完成一次全光谱椭偏测量。

• 膜厚测量范围大

  膜厚范围从次纳米量级到10微米左右。

• 一键式仪器操作

  对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。

【技术特点对用户带来的好处】-- ES03 快速摄谱式 多入射角光谱椭偏仪

【典型应用举例】-- ES03 快速摄谱式 多入射角光谱椭偏仪