技术特点
【技术特点】-- 7-PMC50 干涉镜五维调整系统
特点:
可实现3维平移、1维旋转、1维倾斜调整。
水平平移(X、Y轴)和竖直升降(Z轴):精密线性滑块导轨导向,滚珠螺杆驱动,手动旋转台作为精调手轮,分辨率小于1微米。
旋转倾斜部分台面大,精研丝杠调整,转轴无间隙。
技术参数:
承载面尺寸 | 200mm x200mm |
X轴平移调整范围 | ±40mm |
Y轴平移调整范围 | -20mm—40mm |
Z轴平移调整范围 | -10mm—40mm |
Z轴旋转调整范围 | ±4° |
Y轴倾斜调整范围 | ±4° |
承载重量 | 20kg |
【技术特点对用户带来的好处】-- 7-PMC50 干涉镜五维调整系统
【典型应用举例】-- 7-PMC50 干涉镜五维调整系统
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