Millipore真空泵, 在机动的支架上根据类型可装载多达8个隔膜泵以及测量和控制系统，安全并且便于维护。多个隔膜泵的抽吸侧和压力侧都各自连接到一个中央接口DN 25 KF上。抽吸侧和压力侧的冷凝物各自被导入一个分离器（球形器皿）。压降根据泵的功率决定。控制器VCZ324/Mod4用专门编制的软件对全部的泵系统进行控制。每个隔膜泵按照需要的抽吸量和运行时间开动。通过自测功能能自动判断出在整个系统内的泄漏情况。因此泵只在需要的情况下被打开。一个可编制的压力值上限保证了设备始终处于待机状态。参数的设置通过控制器面板或者通过接口RS232和个人电脑的连接。