CS200D 数字式气体质量流量控制器_参数指标

产品型号	CS200D
产品类型	高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰
流量量程	2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度	±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤0.8sec
工作温度范围	(0~50)°C
耐压	3MPa
密封材料	金属密封 Metal
输入输出信号	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型	常开或常闭
温度系数	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃
零点飘移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	25µinch
抗电磁干扰	CE
重量	1.2Kg

CS200D 数字式气体质量流量控制器