1技术参数
表2 ATR8500性能参数
ATR8500性能参数 | |
显微镜相机系统 | 500万像素工业相机 |
聚焦方式 | 共轭对焦 |
激光光斑直径 | >1μm |
激光稳定性 | σ/μ <±0.2% |
通讯模式 | USB2.0 |
X、Y轴电控二维平台 | |
移动范围 | 50 X 50 mm |
移动分辨率 | 0.1 μm |
定位精度 | 1 μm |
扫描速度 | 20 mm/s |
Z轴（自动对焦） | |
对焦精度 | ≤ ±0.2 μm |
最大行程 | 20 mm |
对焦速度 | 不超过10 s |
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经销商
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