ST-II型气垫精密光学隔振平台

ST-II型系列隔振平台采用独立膜片气囊，具有良好的隔振性能。由于采用气囊结构，有效减少了泄漏的发生，一次充气可以使用6～12个月。广泛应用在光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。
产品数据表
型号Model	台板尺寸(mm)	平台高度（mm）	最大载荷(kg)	孔径	孔距(mm)	支撑腿数量（只）

长度	宽度	台板厚度
ST-II-0906	900	600	50	800	200	M6	25	4
ST-II-0906	900	600	100	800	400	M6	25	4
ST-II-1208	1200	800	100	800	800	M6	25	4
ST-II-1510	1500	1000	100	800	800	M6	25	4
ST-II-1812	1800	1200	200	800	800	M6	25	4
ST-II-2012	2000	1200	200	800	800	M6	25	4
ST-II-2015	2000	1500	200	800	800	M6	25	4
ST-II-2412	2400	1200	200	800	800	M6	25	4
ST-II-2415	2400	1500	300	850	800	M6	25	4
ST-II-3012	3000	1200	300	850	800	M6	25	6
ST-II-3015	3000	1500	300	850	800	M6	25	6
ST-II-3515	3500	1500	300	850	800	M6	25	6
ST-II-4015	4000	1500	300	850	800	M6	25	8
ST-II-5015	5000	1500	300	850	800	M6	25	8
ST-II-6015	6000	1500	400	850	3000	M6	25	8

主要性能指标：

平台尺寸2400*1500*800mm

1）平台台面材质：高导磁不锈钢SUS430;加工制造

2）台体总厚度： 200mm

3）平台离地高度： 800mm

4) 台面平整度： 0.05mm/平方米

5）台体底板：大于9mm

6)台面粗糙度： 0.8微米；

7)孔距： 25*25mm；

8）孔径： M6，

9）振幅：＜1.2微米

10）台体内部结构：材质采用5mm厚优质碳钢压制成蜂窝钢结构，具有高抗强度

最大（变形量）动扰度系数：0.771*10-3-3

11）支撑方式（每个平台配4点支撑-气浮式隔振支撑架一套，）

4点200*200mm方形钢管上端内采用内置二层膜片气囊，小孔阻尼,气压稳定平衡，

12)最大相对位移： 0.02μm；

13）固有频率：垂直1.5-2Hz、水平1.8-2Hz；

14)设计最大载负能力：2200kg