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Newport高精度线性平移台GTS70

tel: 400-6699-117 1000

理波光学位移台, GTS 系列即考虑到了交叉滚子轴承平移台的平直度直线度和平整度平面度,又兼顾了高端平移台较高的精度和可重复性。

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技术参数:

型号
GTS70

GTS150
行程范围70 mm150 mm
最大速度50 mm/s50 mm/s
最小位移增量100 nm100 nm
中心负载100 N100 N
轴向负载 (+Cx)25 N20 N
逆轴向负载 (-Cx)-25 N-20 N
精度,典型值±0.30 μm±0.50 μm
精度,保证值±1.0 μm±1.0 μm
双向重复精度,典型值±0.06 μm±0.08 μm
双向重复精度,保证值±0.10 μm±0.10 μm
俯仰,典型值±15 μrad±30 μrad
俯仰顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
偏摆,典型值±15 μrad±25 μrad
偏摆顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
滚转顺应性10 μrad/Nm5 μrad/Nm
原点重复精度±0.05 μm±0.05 μm
电缆长度3 m3 m
重量2.7 kg3.6 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHSCompliantCompliant


产品特征:

精密编码器反馈

使用具有 50 nm 超高分辨率的光学标度,可降低传动系统误差。读头的固定设计减少了其内部电缆移动的麻烦。

防蠕动式交叉滚子轴承

为了确保最精确的轨迹控制,GTS 平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件,因此可以为最苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且,齿轮保持架会防止轴承罩移位,其他直线轴承产品可能出现此类移位。



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