技术指标：
项目 | 技术指标 |
仪器型号 | EM12-PV |
激光波长 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚测量重复性（1） | 0.2nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
0.2nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) | |
折射率精度（1） | 2x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
2x10-3 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) | |
单次测量时间 | 与测量设置相关，典型1.6s |
光学结构 | PSCA（Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度） |
激光光束直径 | 1-2mm |
入射角度 | 40°-90°可手动调节，步进5° |
样品方位调整 | 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品 |
可测量156*156mm电池样品上每个点 | |
Z轴高度调节：±6.5mm | |
二维俯仰调节：±4° | |
样品对准：光学自准直显微和望远对准系统 | |
样品台尺寸 | 平面样品直径可达Φ170mm |
兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品 | |
zei大的膜层厚度范围 | 粗糙表面样品：与绒面物理结构及材料性质相关 |
光滑平面样品：透明薄膜可达4um，吸收薄膜与材料性质相关 | |
zei大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
仪器重量（净重） | 25Kg |
选配件 | 水平XY轴调节平移台 |
真空吸附泵 | |
软件 | ETEM软件： |
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注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量25次所计算的标准差。
性能保证：
稳定的He-Ne激光光源、先进的采样方法以及低噪声探测技术，保证了稳定性和准确度
一体化样品台技术，兼容单晶和多晶硅太阳电池样品,轻松变换可实现准确测量
高精度的光学自准直显微和望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
新型样品调节技术，有效提高样品定位精度，并节省操作时间
新型光电增强技术和独特的噪声处理方法，显著降低生产现场噪声的影响
一体化集成式仪器整体设计，保证了系统稳定性，并节省空间
分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用
可选配件：
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