产品型号： Model 200,800MBA,2000,5000

品牌：OAI

产品产地：美国

产品类型：进口

原制造商：OAI

状态：在售

厂商指导价格： 5~10万元[人民币]

上市时间： 2015-03-15

英文名称： Model 200,800MBA,2000,5000

优点：OAI 200型光刻机是一种具有成本效益的高性能掩模对准器，采用经过行业验证的组件，使OAI成为光刻设备行业的领导者。 200型是台式面罩对准器，需要最小的洁净室空间。它为研发，或有限规模，试点生产提供了经济的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，衬底快速平稳地平整，用于平行光掩模对准和在接触曝光期间在晶片上的均匀接触。该系统能够实现一微米分辨率和对准精度。