三脚抛光器（Tripod Polisher又名楔入式抛光器、抛光具）由IBM公司科学家设计，是一款用于SEM和TEM电镜制样的精密仪器。它大大降低了样本对离子减薄的依赖，缩短了制备时间，某些时候它可以省去离子减薄工序。Model 590三脚抛光器（tripod polisher）即可用于平面样本的制作，也可用于截面样本。适用于多种材料，比如陶瓷、高分子、金属、地矿物质材料等。EMS公司推出三款三脚抛光器，Model 590TEM、Model 590SEM、Model 590TS。海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理

产品信息：

主件介绍：

主机：含有3个测微计带delrin脚，无论是圆形样品还是L形架在抛光时都可以与主机连接。 

圆形样品安装器：圆形样品安装器中心有一个pyrex棒，用于使TEM样品平行抛光，pyrex插件使样品可在透射光下进行观察，以测量其厚度。 

L形架：L形架可容纳SEM柱及pyrex插件。 

SEM拄：SEM螺柱适用于大部分SEM的样品。 

Pyrex插件：用于更换SEM柱，pyrex插件使样品可在透射光下进行观察，以测量其厚度。 

平直工具：平直工具与60μm金刚砂研磨胶片一起使用，用于将delrin脚与抛光主机平行。

还出售各类金属抛光膏。