*　技术参数

XY扫描器

   闭环控制式单模块柔性XY扫描器。

扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选  100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )

Z扫描器

柔性引导高力度扫描器

扫描范围: 12 μm (可选 25 μm)

  样品台

  XY台工作范围: 13 × 13 mm

  Z台工作范围: 29.5 mm

  聚焦台工作范围: 70 mm

 光学系统

可观察样品和探针的直视同轴光学系统

10X 物镜 (可选20X）

视场: 480 × 360 μm 

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

  电路系统

高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS

 最大图像尺寸: 4096 x 4096像素, 16个数据图像

 信号输入： 在500kHz取样时, 16位ADC的20个通道

 信号输出： 在500kHz取样时, 16位ADC的21个通道

 同步信号 ：图像结束, 线结束及像素结束TTL信号

 主动Q控制(选配)

 悬臂梁弹性常数校准(选配)

 CE Compliant

 电源 : 120 W

 信号处理模块 (选配