日本电子JSM-7900F热场发射扫描电子显微镜

参考招标参数:

中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目（第一批）OITC-G180260376-2

中国科学院山西煤炭化学研究所 微区微量元素分析场发射扫描电镜采购项目

微区微量元素分析场发射扫描电镜

1. 工作条件：

1.1 电力供应：三相或单相220V±10%，50/60 Hz，4 kVA，要求连续供电。

1.2 工作温度：15 ~ 25 ℃。

1.3 相对湿度：小于60%。

1.4 仪器运行的持久性：仪器可24小时连续正常运行。

1.5 安装环境磁场：＜0.2 μT。

1.6 安装环境振动：＜3 μm (P-P)。

2. 设备用途：

2.1 应用范围

微区微量元素分析场发射扫描电镜是材料显微观察与分析的重要工具，用于获得纳米尺度样品表面的形貌和成分信息。可实现对不导电样品不喷镀导电层直接高分辨观察，磁性样品近距离观测，同时能兼容较大尺寸的样品。  

2.2 仪器、设备的配置和组成

微区微量元素分析场发射扫描电镜是由电子光学系统、真空系统、探测器系统、样品仓、图像采集和处理系统组成。该电镜要求具有大分析束流支持的快速分析能力，卓越的高低电压分辨率，样品台为优中心、大承重设计。

3. 技术规格：

3.1 电子光学系统

3.1.1 二次电子像分辨率： 0.6nm @ 15kV，0.7nm @ 1kV。

3.1.2 放大倍率：底片倍率 10～1000 k，倍率连续放大。

3.1.3 加速电压：0.01 kV ～30 kV，连续可调。

3.1.4 电子枪：场发射电子枪，使用寿命不低于3年。

3.1.5 zei大探针电流： 500 nA。

3.1.6 减速模式：镜筒内zei大减速7 kV，样品台减速zei大5 kV。

3.1.7 物镜光阑：不少于4孔，20 nA下无需手动更换光阑。

3.1.8 具备鱼眼模式或大景深模式，便于寻找样品。

3.1.9 自动调整功能：电子枪对中、动态聚焦、自动透镜控制、自动合轴、消像散、反差、亮度调节、倾斜补偿等功能，并兼有手动调整功能。

3.1.10 电镜系统内置实时操作的视频教学软件，可指导用户学习操作步骤，同时还具有对操作人员的考核功能。

3.2 样品室和样品台

3.2.1 样品仓内径：内部直径不小于300 mm，高度不低于230 mm。

3.2.2 换样方式：气锁式预抽室（zei大样品尺寸Ф100 mm）及抽屉式拉门设计（zei大样品尺寸Ф200 mm）。

3.2.3 五轴马达驱动样品台移动范围：X：70 mm，Y：50 mm，Z：40 mm，R：360 º，T：-5~70 º。

3.2.4 样品台承重：X/Y：3 kg，Z/T：1 kg。

3.2.5 预留至少14个附件拓展接口。

3.2.6 样品台：单样品台、多孔样品台、多功能固定槽台、截面台及其对应样品座，均可在减速模式下使用；样品台倾斜、平移时，焦点不变，衬度不变。

3.2.7 具备样品非触碰极靴自停的报警功能。

3.3 探测器及成像系统

3.3.1 样品室内二次电子探测器

3.3.2 样品室内可伸缩背散射电子探测器

3.3.3 镜筒内二次电子探测器

3.3.4 镜筒内背散射电子探测器

3.3.5 样品室内有红外CCD或彩色光学观察相机。

3.3.6 可直接观察不导电样品以及近距离观察磁性样品，无需切换磁性模式。

3.3.7 具有样品导航相机，可将整个样品台的视野用彩色光学CCD相机记录下来，方便多个样品间切换。

3.4 真空系统

3.4.1 真空泵：配置机械泵、分子泵、离子泵。

3.4.2 安全保护：具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施。

3.4.3 真空度：样品室优于10-4 Pa，电子枪真空度优于10-8 Pa。

3.5 图像处理系统

3.5.1 图像存储：zei大32k×24k像素。

3.5.2 图像显示：不小于1280×1024像素。

3.5.3 图像记录格式：包含但不限于TIFF、BMP及JPEG等。

3.5.4 计算机配置不低于：i7-7700 CPU，16G内存，独立4G显卡，1TB SATA 7200转/分 硬盘，DVD刻录光驱，24”平板彩色液晶显示屏。

4. 产品配置要求

4.1 产品主体部分说明

4.1.1 场发射扫描电镜主机   1台

4.1.2 自动稳压电源   1套

4.1.3 离子泵及整机的不间断电源（UPS，断电可坚持2小时以上）   1套

4.1.4 计算机控制单元、数据处理及备份系统   4套

4.1.5 电镜操作台、轨迹球、多功能旋钮板   1套

4.1.6 冷却循环水系统   1套

4.2 要求的附件、专用工具和消耗品

4.2.1 备用电子枪或灯丝及光阑，至少保证十二年电子枪寿命（厂商仅需明确所提供的备件是否为电子枪）        3套

4.2.2 标准工具、镊子、机械泵油、导电胶带、硅片 1套

4.3 其它保证仪器设备的正常运行和常规保养所需的附件、专用工具和消耗品。(由投标人提供，请参考总则第2.1条)

5. 选购附件、备件及消耗品

5.1 查询项目

5.1.1 EDS能谱仪

5.1.2 样品的等离子清洗机

5.2 投标人推荐的其它选件

5.3 延长保修期半年、1年、2年、3年的价格          

6. 技术文件：

6.1 请参考总则第1.2条。

6.2 请参考总则第2.3条。