电位精度:1uV
恒电位范围:30V
电流范围:1pA - 10A
交流阻抗频率范围: 10uHz-7MHz
电流精度:0.0033%
M470技术参数
工作站(所有技术)
扫描范围(x,y,z) 大于100nm
扫描驱动分辨率 高达0.1nm
闭环定位 线性零滞后编码器,直接实时读出x,z和y位移
轴分辨率(x,y,z) 20nm
最大扫描速度 12.5mm/s
测量分辨率 32-bit解码器@高达40MHz
压电(ic-和ac-扫描探针技术)
振动范围 20nm~ 2μm峰与峰之间1nm增量
最小振动分辨率 0.12nm(16-bit DAC,4μm)
压电晶体伸展 100μm
定位分辨率 0.09nm(20-bit DAC ,100μm)
机电
扫描前端 500×420×675mm(H×W×D)
扫描控制单元 275×450×400mm(H×W×D)
功率 250W
售后服务
我会维修/培训/做方法
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