| 分辨率*1 | STEM HAADF 图像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) TEM 信息分辨率: 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV) |
| 电子枪 | 标配冷场电子枪 |
| 球差校正器 | STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3 |
| 校正器自动合轴系统 | 日本电子NEO JEOL COSMO™ 自动合轴系统、Ad-hock合轴（SIAM） |
| 加速电压 | 30 ～ 200 kV（ 标配30、80、200 kV；选配60、120 kV） |
| 无磁场模式 | 标配洛伦兹模式、放大倍数 ( ×50 ～ 80 k荧光屏为参考面) |
| 样品移动系统 | X,Y,Z 轴高精度机械驱动、标配超高精度压电陶瓷驱动 |
| 操作类型 | RDS*4 操作模式*4 |
*1 装配UHR(超高分辨率)极靴与STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高阶球差校正器)
*3 DSS(DeScan系统)
*4 RDS(安装室分隔式)
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