[纳米法测量】简单操作的快速测量

新研制的降噪SPM磁头

新研制的紧凑型SPM扫描仪头

OLS 4500采用鼻片式SPM扫描仪头。由于目标和悬臂端在同轴、旁焦定位中，即使切换到SPM模式，观察点也不会从视野中消失。新研制的紧凑型SPM头提高了刚度，降低了图像噪声，提高了响应能力。

按要求放大区域的导航器

导航器功能允许通过进一步提高放大率来更近地查看用探针扫描模式获取的图像中所需的区域。通过简单设置光标放大区域和启动探针扫描即可获得目标图像。扫描区域可以自由设置，使观察和测量能够更快、更有效地进行。

导航仪放大10μm x 10μm图像上的3.5μm x 3.5μm区域

满足不同要求的分析

曲率测量(硬盘凹坑)

在SPM测量模式下采集的图像可以进行分析，以适应不同应用的需要，结果可以作为CSV格式输出。OLS 4500提供以下分析功能。

• 轮廓(曲率因子测量，包含角度测量)

• 粗糙度

• 地形(面积、表面、体积、高度、直方图、方位比)

• 台阶(线、面积)

• 粒子分析(可选)

六种SPM测量模式，易于跟踪制导显示。

接触方式

该模式通过悬臂梁静态扫描设定区域，同时保持悬臂和试样之间的排斥力，以直观地显示样品的高度信息。它也可用于力曲线的测量。

金属薄膜

动态模式

该振型使悬臂梁在谐振频率附近振动，并控制Z方向距离使振动振幅常数，从而直观地显示样品的高度信息。适用于具有柔软表面的样品，如聚合物或粘性材料。

铝表面

相位模式

该模式在动态模式扫描过程中检测悬臂梁振动的相位延迟。它可以直观地显示样品表面物理性质的差异。

聚合物膜

电流模式

该模式对样品施加偏置电压，以检测和可视化悬臂梁和样品之间的电流流动。它也可用于I/V测量。

硅衬底上SiO 2图案的样品。高度图像(左)中的黄色区域是SiO 2，在当前图像(右)中显示蓝色(没有电流的区域)。这些图像表明，基板具有无电流的区域。

表面势模(KFM)

该模式通过导电悬臂梁施加交流电压，检测悬臂梁与样品之间的静电作用力，并将样品表面的电势可视化。它也被称为开尔文力显微镜(KFM)模式。

磁带样本。表面电位图像表明，几百mV的电位差分布在样品表面。这种分布被认为是在磁带表面的润滑层中存在不规则现象。

磁力模式(MFM)

该模式以相位模式扫描磁化悬臂梁的设定区域，检测悬臂梁振动中的相位延迟，然后将样品表面的磁信息可视化。它也被称为磁力显微镜(MFM)模式。

硬盘样本。图像显示了磁性能的分布。

LSM允许灵活地处理各种样本。

成像斜率达85°

由于具有高数值孔径的专用物镜和通过405 nm激光获得优异性能的专用光学系统，OLS 4500能够可靠地测量以前无法测量的锐角样品。

LEXT专用物镜

锐角剃刀

高分辨率微轮廓测量

利用波长为405 nm的短波激光和高孔径物镜，可获得0.12μ的X-Y分辨率。因此，OLS 4500可以对样品表面进行亚微米测量。结合高精度线性比例尺和奥林巴斯原始强度检测技术，这允许高清晰度成像，能够精确测量从亚微米到数百微米范围的高度。此外，OLS 4500还能保证测量值的“精度”，即测量值与其真实值的距离有多近，以及指示重复测量值之间的变化程度的“重复性”，两者都显示了测量工具的性能。

0.12μm线与空间模式

(MPLAPON50XLEXT)
台阶高度标准B型，PTB-5，Institut für Mikroelektronik，德国

指定广域内的任何图像采集区域

虽然高倍图像的视场一般较窄，但OLS 4500的拼接功能可以通过625幅图像的拼接，提供高分辨率、宽视场的图像数据。获得的宽视场图像可以进行三维显示和三维测量.