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日本电子RF-120系列高频电源

tel: 400-6699-117 6205

日本电子电子束刻蚀, 是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源(RF电源)。

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产品规格:

RF-12010RF-12020RF-12030RF-12040

zei大输出功率750W1.5kW3kW6kW
输出接头N 型LS2 型
输入电压AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
输入电流AC 5AAC 8AAC 20AAC 35A
振荡方式他激式晶体振荡
振荡频率13.56MHz ±0.005%
输出稳定度±0.5%以下 (zei大输出功率, 对50Ω电阻负载)
波动1%以下 (zei大输出功率, 对50Ω电阻负载)
总谐波失真- 50dB (zei大输出功率时)
制冷方式强制空冷水冷
5~7L/分5~6.5L/分
外观尺寸 (mm)Wide481481481481
Depth430504504510
Hight149199199349
重量(kg)18252755


*RF-12040由单元1(149mmH/25kg)和单元2(199mmH/30kg)构成。
*外观尺寸不包括突起部分(背面的风扇等)。RF-56000  外观尺寸 : 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)



厂家资料

地址:北京市西城区阜外大街2号万通新世界广场B-1110

电话:400-6699-117 转 6205

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