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普发真空氦质谱检漏仪, 光无源器件是不含光能源的光功能器件的总称。光无源器件在光路中都要消耗能量,插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光 纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。 本文主要介绍上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。
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