Säntis 300全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统

产品型号：Säntis 300

品牌：Attolight

产品产地：瑞士

产品类型：国产

原制造商：Attolight

状态：在售

厂商指导价格： 50~100万元[人民币]

上市时间： 2020-05-14

英文名称：Säntis 300 Full wafer industrial cathode fluorescence CL-SEM system

优点：Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆，或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上，然后仪器自动处理。