产品参数
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV | |
4 nm @ 3 kV | ||
5 nm @ 1 kV | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速电压 | 0.1 kV~30 kV | |
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD)、镜筒内高角度电子探测器 |
*背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系统 | 真空模式 | 优于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自动控制 | |
涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |
机械泵 | 12 m³/h(50 Hz) | |
样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
样品仓内监控 | ||
样品台配置 | 五轴自动 | |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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