软件：

• 测量软件, 公差测量软件
  

• 图像处理

• 预设参数

• 直方图及LUT

• SharkSEM™ 基础版 (远程控制)

• 3D 防碰撞模型软件

• 对象区域

• 光电联用

•  定时关机

• CORAL™（用于生命科学的电镜模块）

• 自动拼图软件

• 样品观察

• TESCAN Flow™ (离线处理软件)

根据实际配置和需求

探测器和附件：

• 皮安计，包含防碰撞报警功能

• 样品室内 Everhart-Thornley 式二次电子探测器 (SE)

• 用于观察样品室内部情况的红外摄像机

• 可伸缩-闪烁体式背散射电子探测器

• 阴极荧光探测器

• 共聚焦拉曼光谱
  

• 其它各种附件可供选择（详情请来电咨询）