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X射线能谱仪(EDS)
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岛津X射线能谱仪(EDS), Axis Supra继续采用大功率X光源和浸入式磁透镜设计以获取zei高的检测灵敏度,同时采用165mm大平均半径的双聚焦半球扇形能量分析器,可以获得zei高的XPS谱线能量分辨。在检测器端,Axis Supra采用位于能量分析器出口中心位置上的第二代专利的二维阵列延迟线检测器,可以同时记录光电子的信号强度及其发射位置,亦可以在数秒的时间里获取完整的XPS谱图。
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