【技术特点】-- 原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）

原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力，热，光，电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力，热，光，电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

光纤指标

●多模光纤外径250um，保证电镜系统真空指标;

●可选光纤探针、平头光纤;

●配备快速SMA接头、FC接头。

加热指标

●温度控制范围：室温至1000℃；

●温度准确度：优于5%；

●温度稳定性：优于±0.1℃。

产品特色

●可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加四种激励，实现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究；

●高温拉伸/压缩 (加热芯片+电学STM探针) ;

●热电子发射/场发射 (加热芯片+电学STM探针) ;

●三端器件测量 (电学芯片+电学STM探针) ;

●电致发光现象研究 (电学芯片+光学STM探针) ;

●光电现象研究 (电学芯片+光学STM探针) 。

应用领域





部分国内用户

【技术特点对用户带来的好处】-- 原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）

【典型应用举例】-- 原位MEMS-TEM-STM多场测量系统（非定量力+电+光+加热）