MST微米划痕仪

具有有源力学反馈系统校正样品形貌带来的法向力变化
划痕正向力zei小载荷 30mN
划痕正向力zei大载荷 30N
正向力分辨率 0.3mN
zei大摩擦力 30N
摩擦力分辨率 0.3mN
zei大划痕深度 1000 um
位移分辨率 0.3nm
zei大划痕长度 120mm
划痕速度 0.4-600mm/min

 选件

客户可以根据经费和实际需求选择CPX或OPX纳米力学平台），在此基础上可以选择CSM公司其它的力学测试模块如UNHT（超纳米压痕模块），NHT（纳米压痕模块），MHT（微米压痕模块），AFM(原子力显微镜）模块或Conscan（白光共聚焦显微镜）等，以构建自己需要的微纳米力学综合测试系统

多种金刚石划痕针头选择（曲率半径50um,100um，200um等，Rockwell C）

真空、湿度与温度控制选件


集成原子力显微镜或白光共焦显微镜三维成像