技术参数
目前洁净室级别分级的标准是 ISO 14644-1:1999(E),系统软件可以根据ISO的要求自动输出报告,计算UCL。执行标准如下:
ISO14644分级 | 最大允许浓度极限(颗粒数/m3) | FS 209E | |||||
≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1.0μm | ≥5.0μm | ||
ISO1级 | 10 | 2 | |||||
ISO2级 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO3级 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1级 | |
ISO4级 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 10级 | |
ISO5级 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 100级 |
ISO6级 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 1,000级 |
ISO7级 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 10,000级 | |||
ISO8级 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 100,000级 | |||
ISO9级 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
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