借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测
Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用,实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品,具有15 ppt硼的检测极限(LOD)。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。
易于操作和维护
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加,这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本,保持超纯水系统的质量。
硼分析仪的特点与优势
在极具挑战的应用中提供更高的可靠性和更长的正常运行时间
连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项——最多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出,一个独立的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出和四个独立的二进制输出
最少的维护与耗材需求
配件包包含安装所需的配件
应用
半导体超纯工艺水
超纯水电力应用
运行规格 | |
---|---|
浓度范围 | 0.015至20 ppb B |
检测限(LOD) | 0.015 ppb B |
准确度 | ± 0.01 ppb B<0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
精确度 | ± 3%或0.005 ppb B(以较高者为准) |
最小样品 电阻率 | 15 megaohms–cm |
样品温度 | 15°-40°C |
样品流速 | 0.1 -0.5 L/分钟 |
环境温度 | 10°C–40°C |
样品压力 | 20-100 psig(138-689 kPa) |
校准稳定性 | 通常12个月 |
样品颗粒 | 15微米样品预过滤 |
废物 | 重力排放(无背压) |
仪器规格 | |
输入 | 5个隔离二进制输入 |
输出 | 4个独立4-20 mA输出,1个独立RS-232,1个通用并行打印机端口,2个报警输出,4个独立二进制输出 |
尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸(53 x 44 x 31 cm) |
重量 | 48 lbs(22kg) |
认证 | CE(点击此处获取符合性声明) |
耗材 | |
硼试剂 | 90天(12分钟取样率) 45天(6.5分钟取样率) |
试剂柱 | 12个月 |
零柱 | 12个月 |
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