技术特点
【技术特点】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪
主要特点:
(1)采用电容耦合电极和zl化的电极设计(zl号:US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效率的特性,保证了样品室内等离子体分布的均一性;
(2)采用自动调频高频发生器,保证了等离子体发生的稳定性和有效性;
(3)采用高精度的流速控制和压力控制部件,保证了气体的精确控制、高重现性混合和分布;
(4)采用软件控制,确保控制的方便有效和实时监控;
(5)一体化的高真空系统,确保了操作的方便性和稳定性;
(6)多种样品室可供选择,如耐热玻璃和石英等,更能满足广大客户的需求多;
(7)体积小,可远程操作,多种安全保护,保证操作的安全和方便;
(8)样品室和功率设计合理,可满足绝大部分科研需要;
(9)全自动操作,方便可靠。
【技术特点对用户带来的好处】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪
【典型应用举例】-- 等离子体清洗机/等离子体表面处理仪
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等离子体表面处理仪
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